復合控溫高低溫真空探針臺

產品參數

腔體

樣品臺尺寸：2英寸  4英寸  6英寸

樣品固定：彈簧壓片

觀察窗口：2英寸  4英寸  6英寸

真空度：10?? torr

探針臂接口：至多6個探針臂接口

其它接口：真空接口、光纖接口、冷源接口等

制冷方式：液氮 / 液氦  、制冷機

控制方式：開循環手動  、閉循環自動控制

溫度范圍：77K ~ 450K  、4.5K ~ 450K

溫度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K

穩定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K

顯微鏡

X-Y-Z 移動行程：50mm×25mm×13mm

結構：外置探針臂，真空波紋管結構

移動精度：10μm / 1μm

光源：外置LED環形光源 / 同軸光源

CCD：200萬像素 / 500萬像素 / 1200萬像素

探針座

X-Y-Z 移動行程：50mm×25mm×13mm

結構：外置探針臂，真空波紋管結構

移動精度：10μm / 1μm

探針夾具

線纜：同軸線 / 三軸線 / 射頻線

漏電精度：10pA / 100fA / 10fA

固定探針：彈簧固定 / 螺絲固定

接頭類型：BNC / 三軸 / 香蕉頭 / 鱷魚夾 / 接線端子/ 射頻接口

探針

射頻支持：DC-67GHZ

針尖直徑：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材質：鎢鋼 / 鈹銅

真空組件 分子泵組 / 機械泵

冷源組件 50L / 100L 液氮罐 / 液氦罐 / 制冷機

外形重量 730mm×750mm×1265mm（長寬高） 約100kg

防震桌參數

產品型號：氣浮隔振防震桌

隔振方式：空氣彈簧隔振

固有頻率：1.5Hz-2Hz

支撐腿：氣浮支撐腿

產品型號：阻尼隔振防震桌

隔振方式：復合材料隔振

固有頻率：6Hz-8Hz

支撐腿：阻尼支撐腿