華測(cè)儀器 光電測(cè)試簡易探針臺(tái)的系統(tǒng)配件及其參數(shù)

產(chǎn)品參數(shù)
型號(hào)：Huace-M4  Huace-M6
臺(tái)體
尺寸：4英寸  6英寸
水平旋轉(zhuǎn)：可360°旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置
X-Y 移動(dòng)行程：2英寸*3英寸
X-Y 移動(dòng)精度：10μm
樣品固定：真空吸附，多圈吸附環(huán)
針座平臺(tái)：左右各一個(gè)針座平臺(tái)，至多可放置 6 個(gè)探針座
背電極測(cè)試：樣品臺(tái)電學(xué)懸空，4mm 插孔可接背電極
顯微鏡
顯微鏡類型：單筒顯微鏡 / 體式顯微鏡
放大倍率：16X - 200X
移動(dòng)行程：水平方向繞立柱360°旋轉(zhuǎn)，Z軸50.8mm
光源：外置LED無級(jí)調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源
CCD：200 萬像素 / 500 萬像素 / 1200 萬像素
探針座
X-Y-Z 移動(dòng)行程：12mm*12mm*12mm
移動(dòng)精度：10μm / 2μm / 0.7μm / 0.5μm
吸附方式：磁力吸附/真空吸附
探針夾具
線纜：同軸線 / 三軸線
漏電精度：10pA / 100fA / 10fA
固定探針：彈簧固定 / 管狀固定
接頭類型：BNC / 三軸 / 香蕉頭 / 鱷魚夾 / 接線端子
探針
針尖直徑：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm / 20μm
材質(zhì)：鎢鋼/鈹銅
外形尺寸：400mm長*380mm寬*500mm 高
重量：約20kg
可選附件（可按需定制）：
加熱臺(tái)
顯示器
轉(zhuǎn)接頭
射頻測(cè)試配件
屏蔽箱
光學(xué)平臺(tái)
鍍金卡盤
光電測(cè)試配件
應(yīng)用領(lǐng)域
01 設(shè)備可滿足 I-V/C-V、PIV 測(cè)試、光電測(cè)試等多種測(cè)試需求，適配 6 英寸以內(nèi)的樣品測(cè)試場(chǎng)景。
02 設(shè)備采用同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)終線性移動(dòng)，同時(shí)支持放置于手套箱內(nèi)使用，適配特殊環(huán)境測(cè)試需求。
03 該設(shè)備整體形狀輕巧，操作簡單，能夠?yàn)楦黝悩悠窚y(cè)試提供了可靠的測(cè)試方案，可應(yīng)用于半導(dǎo)體器件研究、光電子與顯示技術(shù)、工業(yè)與工程應(yīng)用等領(lǐng)域