去應力熱處理紅外晶圓退火爐
高速加熱與降溫方式
高能量的紅外燈和鍍金反射方式允許高速加熱到高溫。同時爐體可配置水冷系統，增設氣體降溫裝置，可實現快速冷卻
溫度高準度控制
過紅外鍍金聚焦爐和溫度控制器的組合使用，可以準確控制樣品的溫度(遠比普通加溫方式)。此外，降溫速度和保持在不同溫度下可提供高準度
不同環境下的加熱與降溫
加熱/降溫可用真空、氣氛環境、低溫(高純度性氣體 靜態或流動)操作簡單，使用石英玻璃制成。紅外線可傳到加熱/降溫室
參數規格
產品尺寸：6寸晶圓或150 x 150mm產品
溫度范圍：RT~1450°C
升溫速度：＜100℃/s可編程（此溫度不含載盤的升溫速度）
＜25℃/s（SiC載盤）
溫度均勻度：±5 °C（≤ 500 ℃）
±1 %（> 500 ℃）
溫度控制重復性：±1 °C
溫控方式：PID 溫控
公司介紹
Beijing Hua Ce Testing Instrument Co., Ltd. is a national high-tech enterprise, abbreviated as Hua Ce Instrument. It is a company engaged in research and development, production and manufacturing. The company has a functional materials electrical laboratory and an electrical insulation materials electrical laboratory.
The products involve material testing instruments, signal amplification and conditioning, data acquisition and control, comprehensive perｆormance evaluation of sensors, etc.
