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產品詳情

  • 產品名稱：溫壓多物理場耦合晶圓退火爐

  • 產品型號：Huace-1200G
  • 產品廠商：華測儀器
  • 產品價格：0
  • 折扣價格：0
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簡單介紹：
真空晶圓退火爐是在真空環境下，對半導體晶圓進行高溫熱處理的設備，主要用于消除應力、優化材料結構、增加電學性能。華測儀器經過多年研發，推出了采用高準度、高反射率拋物面搭配高性能加熱源的解決方案，在升降溫過程中仍能保持穩定均勻的溫度場，可實現寬范圍均熱區、高速加熱與高速降溫。樣品由石英管保護，無氣氛污染，更適合半導體工藝使用
詳情介紹：

溫壓多物理場耦合晶圓退火爐

電子材料
 ? 半導體用硅化合化的PRA
 ? 熱源薄膜形成
 ? 激活離子注入后
 ? 硅化物的形成
陶瓷與無機材料
 ? 半導體用硅化合化的PRA
 ? 陶瓷基板退火爐
 ? 玻璃基板退火爐
 ? 陶瓷張力、撓曲試驗退火爐
鋼鐵和金屬材料
 ? 薄鋼板加熱過程的數值模擬
 ? 爐焊接模擬
 ? 高真空熱處理
 ? 大氣氣體熔化過程
 ? 壓力下耐火鋼和合金的熱循環試驗爐
其他
 ? 高溫拉伸壓縮試驗爐
 ? 分段分區控制爐
 ? 溫度梯度爐
 ? 爐氣分析
 ? 超導陶瓷退火爐
參數規格
產品型號：Huace-800G/Huace-1200G/Huace-1450G
產品尺寸：6寸晶圓或150 x 150mm產品
溫度范圍：RT~800/1200/1450°C
升溫速度：＜100℃/s可編程（此溫度不含載盤的升溫速度）
＜25℃/s（SiC載盤）
公司介紹
Beijing Hua Ce Testing Instrument Co., Ltd. is a national high-tech enterprise, abbreviated as Hua Ce Instrument.    It is a company engaged in research and development, production and manufacturing.    The company has a functional materials electrical laboratory and an electrical insulation materials electrical laboratory.
The products involve material testing instruments, signal amplification and conditioning, data acquisition and control, comprehensive perｆormance evaluation of sensors, etc.

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