晶圓制程3kV表面靜電電位測(cè)試儀

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
非接觸式測(cè)量，避免對(duì)被測(cè)表面造成干擾或損傷
間距不敏感，探頭與表面距離變化不影響測(cè)量精度
零控制功能，提供零點(diǎn)控制旋鈕，便于偏移歸零
易讀LED 顯示屏，3? 位數(shù)字顯示，分辨率為 1V
電壓監(jiān)測(cè)器輸出，可提供測(cè)量靜電電壓的低壓復(fù)現(xiàn)信號(hào)，用于外部監(jiān)測(cè)或作為閉環(huán)系統(tǒng)反饋信號(hào)
探頭組件，包含敏感電極和前置放大器，驅(qū)動(dòng)至相同電位以消除電弧放電，配備3 米電纜，支持遠(yuǎn)程探頭放置
反應(yīng)速度快，1kV 階躍電壓（10% 至 90%）所需時(shí)間小于 3 毫秒可靈活安裝，支持臺(tái)式操作或通過可選硬件在標(biāo)準(zhǔn)機(jī)架中運(yùn)行
參數(shù)規(guī)格
性能規(guī)格
測(cè)量范圍：0~±3000V 直流電或峰值交流電
精度：電壓監(jiān)測(cè)器：精度優(yōu)于±0.05%
優(yōu)于滿量程的±0.1%（以電壓監(jiān)測(cè)器為基準(zhǔn)）
響應(yīng)速度：1kV 階躍變化（從 10% 到 90%）所需時(shí)間 < 3ms
穩(wěn)定性：隨時(shí)間漂移低于100ppm / 小時(shí)，非累積性
隨溫度漂移小于100ppm/℃
電壓顯示
顯示方式：3? 位 LED 顯示屏
顯示范圍：0~±3000V分
辨率：1V
零點(diǎn)偏移：±1 計(jì)數(shù)
采樣率：2.5 次 / 秒
公司介紹
Beijing Hua Ce Testing Instrument Co., Ltd. is a national high-tech enterprise, abbreviated as Hua Ce Instrument.    It is a company engaged in research and development, production and manufacturing.    The company has a functional materials electrical laboratory and an electrical insulation materials electrical laboratory.
The products involve material testing instruments, signal amplification and conditioning, data acquisition and control, comprehensive performance evaluation of sensors, etc.