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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：陶瓷張力試驗(yàn)真空晶圓退火爐

  • 產(chǎn)品型號：Huace-1200G
  • 產(chǎn)品廠商：華測儀器
  • 產(chǎn)品價格：0
  • 折扣價格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
真空晶圓退火爐是在真空環(huán)境下，對半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行高溫?zé)崽幚淼脑O(shè)備，主要用于消除應(yīng)力、優(yōu)化材料結(jié)構(gòu)、增加電學(xué)性能。華測儀器經(jīng)過多年研發(fā)，推出了采用高準(zhǔn)度、高反射率拋物面搭配高性能加熱源的解決方案，在升降溫過程中仍能保持穩(wěn)定均勻的溫度場，可實(shí)現(xiàn)寬范圍均熱區(qū)、高速加熱與高速降溫。樣品由石英管保護(hù)，無氣氛污染，更適合半導(dǎo)體工藝使用
詳情介紹：

陶瓷張力試驗(yàn)真空晶圓退火爐

應(yīng)用領(lǐng)域
電子材料
 ? 半導(dǎo)體用硅化合化的PRA
 ? 熱源薄膜形成
 ? 激活離子注入后
 ? 硅化物的形成
陶瓷與無機(jī)材料
 ? 半導(dǎo)體用硅化合化的PRA
 ? 陶瓷基板退火爐
 ? 玻璃基板退火爐
 ? 陶瓷張力、撓曲試驗(yàn)退火爐
鋼鐵和金屬材料
 ? 薄鋼板加熱過程的數(shù)值模擬
 ? 爐焊接模擬
 ? 高真空熱處理
 ? 大氣氣體熔化過程
 ? 壓力下耐火鋼和合金的熱循環(huán)試驗(yàn)爐
其他
 ? 高溫拉伸壓縮試驗(yàn)爐
 ? 分段分區(qū)控制爐
 ? 溫度梯度爐
 ? 爐氣分析
 ? 超導(dǎo)陶瓷退火爐
參數(shù)規(guī)格
產(chǎn)品尺寸：6寸晶圓或150 x 150mm產(chǎn)品
溫度范圍：RT~1200°C
升溫速度：＜100℃/s可編程（此溫度不含載盤的升溫速度）
＜25℃/s（SiC載盤）
溫度均勻度：±5 °C（≤ 500 ℃） 
±1 %（> 500 ℃）
溫度控制重復(fù)性：±1 °C
溫控方式：PID 溫控
公司介紹
Beijing Hua Ce Testing Instrument Co., Ltd. is a national high-tech enterprise, abbreviated as Hua Ce Instrument.    It is a company engaged in research and development, production and manufacturing.    The company has a functional materials electrical laboratory and an electrical insulation materials electrical laboratory.
The products involve material testing instruments, signal amplification and conditioning, data acquisition and control, comprehensive performance evaluation of sensors, etc.

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